تکنیک کندوپاش مگنترون خلاء استفاده از سطح الکترود زن، دوقطبی با میدان مغناطیسی الکترون در رانش سطح کاتد است، با تنظیم میدان الکتریکی سطح هدف عمود بر میدان مغناطیسی، الکترون سکته مغزی را افزایش میدهد، سرعت یونیزاسیون را افزایش میدهد. از گاز، در حالی که ذرات پرانرژی پس از برخورد گاز می گیرند و انرژی خود را از دست می دهند و بنابراین دمای بستر پایین تر، پوشش کامل بر روی یک ماده مقاوم در برابر دما است.