را
-یک/دو در
قاب و محفظه از فولاد ضد زنگ کربن ساخته شده است.
هر در یک پنجره بازرسی برای کنترل بصری فرآیند فراهم می کند.دیوارهای درب یک آستر فولادی ضد زنگ ایجاد می کنند که به راحتی برای تعمیر و نگهداری برداشته می شود.
- محفظه خلاء سفارشی
محفظه داخلی آسترهای فولادی ضد زنگ را برای تمیز کردن به راحتی جدا می کند.
پمپ ها در قسمت عقب آن ایستاده اند.
محفظه دارای یک سری فلنج کوچک به منظور اندازه گیری است.
-سیستم پمپاژ خلاء بالا
پمپ انتشار + بوستر پمپ + پمپ مکانیکی
- اندازه گیری و کنترل خلاء
دارای گیج پیرانی فلزی+گیج یونیزاسیون فلز
-سیستم متحرک فیکسچرها
- واحد کنترل PLC
-سیستم تبخیر آلومینیومی با ترانسفورماتور قدرت بالا
-قاب آهنی
ساختار معقول است
لایه فیلم یکنواخت است
کیفیت تشکیل فیلم
سرعت پمپاژ بالا، چرخه کاری کوتاه و راندمان تولید بالا
عملیات راحت است
مصرف انرژی کم و عملکرد پایدار
شماره مدل | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | مدل دو درب یا دو اتاقک موجود است | |
ابعاد محفظه خلاء (قطر * ارتفاع) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
مواد محفظه خلاء | فولاد کربن، SUS304 یا SUS316L | ||||||
تکنولوژی کار | تبخیر مقاومت در برابر خلاء با رشته های تنگستن و آلومینیوم، ترانسفورماتور تبخیر با قدرت بالا | ||||||
سیستم پمپاژ | پمپ انتشار + پمپ های مکانیکی، بوستر پمپ | ||||||
زمان پمپاژ | از اتمسفر تا 5.0 * 10-2Pa کمتر از 8 دقیقه | ||||||
محدودیت خلاء | 5.0 * 10-4 Pa | ||||||
دمای کاری | دمای اتاق | ||||||
حالت کار | حالت خودکار یا دستی، با صفحه نمایش لمسی 10.4 اینچی PLC | ||||||
حداکثر قدرت | 40-80 کیلو وات | 70-140 کیلو وات | |||||
رد پا | 2*2 متر | 2*3 متر | 3*3 متر | 3*3 متر | 3*4 متر | 4*5 متر | 5*6 متر |
این واحدها را می توانید سفارشی کنید | 1. اندازه محفظه خلاء 2. پیکربندی پمپ ها | ||||||
ابزار اختیاری | 1. آشکارساز نشت 3. سیستم رسوب یون قوس 4. سیستم کندوپاش مگنترون |