دستگاه روکش PVD ظروف سرامیکی
کاربرد
| شماره مدل | ARC-1000 | ARC-1200 | ARC-1400 | ARC-1800 | ARC-2000 |
| ابعاد محفظه خلاء (قطر * ارتفاع) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 |
| مواد محفظه خلاء | SUS304 یا SUS316L با ژاکت خنک کننده | ||||
| مقدار منابع قوس | 8-12 ست | 10-14 ست | 12-16 ست | 14-24 ست | 18-36 ست |
| سیستم پمپاژ | پمپ مولکولی یا پمپ انتشار + پمپ مکانیکی | پمپ مولکولی یا پمپ انتشار + پمپ های مکانیکی، پمپ تقویت کننده | |||
| زمان پمپاژ | از اتمسفر تا 5.0 * 10-2Pa کمتر از 8 دقیقه | ||||
| منبع تغذیه بایاس | 20 کیلو وات | 30 کیلو وات | 40 کیلو وات | 60 کیلو وات | 60 کیلو وات |
| سیستم توزیع گاز با کنترل کننده های جریان جرمی | ≥2 ست | ||||
| محدودیت خلاء | 5.0 * 10-4 Pa | ||||
| دمای کاری | 100-250 درجه سانتیگراد | ||||
| حالت کار | حالت خودکار یا دستی، با صفحه نمایش لمسی 10.4 اینچی PLC | ||||
| حداکثر قدرت | 70-180 کیلو وات | 70-180 کیلو وات | 70-180 کیلو وات | 120-300 کیلو وات | 120-300 کیلو وات |
| رد پا | 3*3 متر | 3*3 متر | 3*4 متر | 4*5 متر | 4*5 متر |
• ساختار کلی: درب جلو عمودی، درب جلوی افقی، سیستم جذب خلاء عقب
• مواد: حفره از فولاد ضد زنگ SUS304 با کیفیت بالا ساخته شده است
• منبع قوس یونی: مجهز به چندین مجموعه از سیستم های منبع تغذیه قوس الکتریکی با توجه به اندازه تجهیزات
• منبع تغذیه بایاس: مجهز به منبع تغذیه بایاس پالس تک مرحله ای با توان بالا
• اهداف چند قوس: مجموعه های متعددی از اهداف تیتانیوم یا فولاد ضد زنگ به عنوان استاندارد
• سیستم چرخشی: تنظیم سرعت فرکانس متغیر، ترکیب چرخش و چرخش، انتقال بالا یا انتقال پایین.
• سیستم خلاء (تجهیزات پوشش تزئینی): پمپ انتشار (پمپ مولکولی اختیاری) + پمپ ریشه + پمپ های مکانیکی
• کنترل گاز: سیستم کنترل جریان جرم گاز چند طرفه
• سیستم گرمایش: پوشش تزئینی 150 ℃ کنترل دما PID قابل تنظیم و کنترل
• کنترل هوشمند: کنترل هوشمند PLC + رابط لمسی تمام رنگی HMI، برای دستیابی به کنترل منطقی کاملاً خودکار
• هشدار و حفاظت: هشدار در شرایط غیرعادی و اجرای اقدامات حفاظتی مربوطه.
برنامه های کاربردی رایج
1. النگو شیشه ای
2. کاشی و سرامیک و موزاییک
3. موزاییک شیشه ای
4. جواهرات
5. قطعات روشنایی شیشه ای
6. قطعات فلزی
7. اقلام سرامیکی
8. اقلام دندانپزشکی
9. ورق های فولادی ضد زنگ به ورق های طلایی تیتانیوم،
10. قطعات تفنگ ساچمه ای و غیره
