را
ویژگی های اصلی ARC-500 زمان چرخه سریع، عملکرد آسان و کاربر پسند بودن با قیمت مناسب است.دارای چهار کاتد تبخیر قوس کاتدی با کارایی بالا.این گزینه ایده آل برای مشتریانی است که به دنبال ورود به دنیای پوشش هستند یا می خواهند یک سیستم PVD سریع کم حجم را به ناوگان ماشین آلات خود اضافه کنند.
فن آوری های کاربردی:
کاتدهای تبخیر قوس کاتدی
مزایای:
استفاده از هدف بالا
نرخ رسوب بالا
تبادل سریع کاتد
• ساختار کلی: درب جلو عمودی، درب جلوی افقی، سیستم پمپاژ خلاء عقب
• مواد: حفره از فولاد ضد زنگ SUS304 با کیفیت بالا ساخته شده است
• منبع قوس یونی: مجهز به چندین مجموعه منبع تغذیه قوس الکتریکی با توجه به اندازه تجهیزات
• منبع تغذیه بایاس: مجهز به منبع تغذیه بایاس پالس تک مرحله ای با توان بالا
• اهداف چند قوس: مجموعه های متعددی از اهداف تیتانیوم یا فولاد ضد زنگ به عنوان استاندارد
• سیستم چرخشی: تنظیم سرعت فرکانس متغیر، ترکیب چرخش و چرخش، انتقال بالا یا انتقال پایین.
• سیستم خلاء (تجهیزات پوشش تزئینی): پمپ انتشار (پمپ مولکولی اختیاری) + پمپ ریشه + پمپ مکانیکی
• کنترل گاز: سیستم کنترل جریان جرم گاز چند طرفه
• سیستم گرمایش: پوشش تزئینی 150 ℃ کنترل دما PID قابل تنظیم و کنترل
• کنترل هوشمند: کنترل هوشمند PLC + رابط لمسی تمام رنگی HMI، برای دستیابی به کنترل منطقی کاملاً خودکار
• هشدار و حفاظت: هشدار در شرایط غیرعادی و اجرای اقدامات حفاظتی مربوطه.
حداکثربار: 100 کیلوگرم
4 - 6 دسته در روز
سیستم چرخ فلک مدولار:
چرخ و فلک کیکر دو چرخه یا سیستم گیربکس سه چرخه
نرم افزار:
استفاده و نگهداری ساده
سیستم کنترل با صفحه نمایش لمسی
ثبت داده ها و نمایش زمان واقعی پارامترهای فرآیند و جریان
کنترل فرآیند دستی و اتوماتیک
ابعاد ماشین:
رد پای [mm]: L2300 x W1600 x H1950